シリコンウエハー洗浄のメカニズム
ウルトラファインバブルによる洗浄結果 超純粋ジェット洗浄後 1000倍 3000倍 超純粋ジェット洗浄後＋ウルトラファインバブル洗浄後 1000倍 3000倍 洗浄効果 洗浄前 超純水洗浄後 超純水ジェット[…..]
洗浄・除菌関連
シリコンウエハーの超超鏡面研磨加工にファインバブルを使用
要求される鏡面を簡単にクリアー！ ●数種類の対策をしたが要求される超超鏡面ができず、ファインバブルを使用して解決。 ●研削液配管途中にＯＫノズルを設置。 ●「合格品が供給できることになり、大変喜んでおります。」と感謝の言[…..]