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Home > ご利用用途 > 洗浄・除菌関連

洗浄・除菌関連

洗浄・除菌関連

工業製品や食品の洗浄・除菌にファインバブルが利用されています。

ファインバブルは-に帯電しており、+の物質を吸着します。ファインバブルによる脱脂効果、付着物と洗浄物の間への潜り込みによる付着物の剥離、バブル破裂時の力・衝撃波 等により洗浄力を高めています。

ファインバブルの大きな効果は、洗浄力が非常に高いことです。この洗浄メカニズムは下記のようなものと考えられています。
シリコンウエハー表面に付着したコンタミの洗浄では、UFB(ウルトラファインバブル・ナノバブル)が含まれる超純水ジェットをかけた時のバブル破裂時の力、衝撃波が洗浄力を飛躍的に高めています。 
ファインバブルは油分に浸透し、付着面との境界に浸透するので油分を剥離除去する脱脂効果があります。また、密着した物の間の狭所にも入りこみ、ナノサイズのバブルが合体してマイクロバブルとなりクサビの役割を果たし、分離させることができます。この特性により洗浄力が非常に高まります。この用途は非常に多く、家庭の風呂・シャワー、食器洗いから、機械加工部品等の洗浄に使用されています。
また、高い除菌効果もあります。生むきエビでは、表面に付着した菌だけでなく、身にファインバブルが浸透して除菌し、水道水と空気のファインバブルで90%近くの除菌に成功しています。

洗浄実験

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洗浄・除菌関連の応用事例

シリコンウエハーの超超鏡磨加工

シリコンウエハーの超超鏡面研磨加工

シリコンウエハーの超超鏡面研磨加工で、数種類の対策をしたが要求される超超鏡面ができなかったのが、ファインバブルを使用して解決しました。

詳細はこちら

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