シリコンウエハーの超超鏡面研磨加工にファインバブルを使用

要求される鏡面を簡単にクリアー！

●数種類の対策をしたが要求される超超鏡面ができず、ファインバブルを使用して解決。
●研削液配管途中にＯＫノズルを設置。
●「合格品が供給できることになり、大変喜んでおります。」と感謝の言葉を頂いた。
●ファインバブルの破裂の衝撃によって砥石の切り刃が常に確保され、研削キリコが洗浄され必要面祖度が得られた。