シリコンウエハーの超超鏡面研磨加工にファインバブルを使用
研削液配管途中にＯＫノズルを設置。数種類の対策をしたが要求される超超鏡面ができず、ファインバブルを使用して解決。
半導体関連
シリコンウエハー（半導体）洗浄のメカニズム
ウルトラファインバブルの内部が高圧になる特性を利用して、圧力波により固体表面の微粒子を除去する効果を実験的に検証。1ミクロン以上の微粒子が除去され観察されなくなったこと、また、洗浄できている面積割合が、９２％に到達することが明らかになった。
ウルトラファインバブルの内部が高圧になる特性を利用して、圧力波により固体表面の微粒子を除去する効果を実験的に検証。1ミクロン以上の微粒子が除去され観察されなくなったこと、また、洗浄できている面積割合が、９２％に到達することが明らかになった。