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Home > シリコンウエハー洗浄のメカニズム

シリコンウエハー洗浄のメカニズム

ウルトラファインバブルによる洗浄結果

超純粋ジェット洗浄後

超純水ジェット洗浄後10
1000倍
超純水ジェット洗浄後1
3000倍

超純粋ジェット洗浄後+ウルトラファインバブル洗浄後

超純粋ジェット洗浄後+ウルトラファインバブル洗浄後10
1000倍
超純粋ジェット洗浄後+ウルトラファインバブル洗浄後
3000倍

洗浄効果

  洗浄前 超純水洗浄後 超純水ジェット+ウルトラファインバブル洗浄後
      1000倍画像 3000倍画像
面積 359~472um2 320~482um2 28.65um2 37.33um2
  ウルトラファインバブルによる洗浄率 : 面積割合で 92.13%    

ウルトラファインバブルの内部が高圧になる特性を利用して、圧力波により固体表面の微粒子を除去する効果を実験的に検証
1ミクロン以上の微粒子が除去され観察されなくなったこと、また、洗浄できている面積割合が、92%に到達することを明らかにした。

シリコンウエハー洗浄のメカニズム(PDF)
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