実験装置概要図
微粒子及び気泡増加数の算出方法
洗浄実験概要図
ウルトラファインバブルによる洗浄結果
洗浄効果
洗浄前 | 超純水洗浄後 | 超純水ジェット+ウルトラファインバブル洗浄後 | ||
面積 | 359~472um2 | 320~482um2 | 1000倍画像 | 3000倍画像 |
28.65um2 | 37.33um2 |
ウルトラファインバブルによる洗浄率 : 面積割合で 92.13%
ウルトラファインバブルの内部が高圧になる特性を利用して、圧力波により固体表面の微粒子を除去する効果を実験的に検証1ミクロン以上の微粒子が除去され観察されなくなったこと、また、洗浄できている面積割合が、92%に到達することを明らかにした。